Page 8 - smartWLI Technologie

Strukturauflösung der Messgeräte

Auflösungsnormal mit Linienstrukturen:
• gemessen mit einem 100x Objektiv
• Teilbereich eines 170 x 140 µm² Messfeldes
• Konfiguration mit 5 MP Kamera
• Punktedichte 0.07 µm

• bei einer Linienbreite von nominal 0.1 µm fällt die
gemessene Höhe auf 2/3 des nominalen Wertes
ab

3D Siemens-Stern:
Die Messung mit 20x Objektiv
beweisen die korrekte
Wiedergabe der Strukturen des
100x Referenzdatensatzes bis
an die Grenze der
Messpunktdichte und ohne
Einflüsse von Nachbarpunkten
und selber Höhenauflösung.

100x Objektiv (Teilbereich) 20x Objektiv (Teilbereich)