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Vertikal Scanning Technologie
Vertikal Scanning:
Zur Erfassung der 3D Oberflächengeometrie wird das Objektiv im Strahlengang
gegenüber der Probe in z-Richtung bewegt. In der Interferenzzone gibt es
sinusförmige Schwankungen der Lichtintensität. Die Analyse dieses Signals erlaubt
eine Erfassung der 3D Oberfläche mit extrem hoher Auflösung.
