Page 12 - smartWLI Technologie
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Messung von Stufennormalen
µm
100
80
60
40
20
0
Messung von Stufenhöhen:
Stufenhöhen können mit sehr genau
hergestellt und mit sehr geringer
Unsicherheit rückführbar zertifiziert
werden. Die Messung erlaubt den
Nachweis der perfekten Positionierung
des Interferenzobjektives durch den
Piezo, der Synchronisation dieser
Positionierung mit der Bildaufnahme
und damit der der absoluten
Messgenauigkeit des Systems.
