Page 9 - smartVIS3D
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EPSI Messung / geschliffene Glasoberfläche
EPSI
VSI
EPSI (extended Phase-Shift Interferometrie) ermöglich die sub-Nanometer
z Auflösung an glatten Oberflächen. EPSI erweitert den Einsatzbereich bei
dieser Auflösung von ca. 2 - 3 auf 50 ... 100 µm per Messung.
