smartWLI GBScanner

GBScanner – 3D-Profiler für schnelle und zuverlässige Rauheitsmessungen

Der smartWLI GBScanner ist ein schneller optischer Profiler mit einer Topographiereproduzierbarkeit im Subnanometerbereich. Durch die Verwendung eines motorisierten 3-Achsen-Stativs zum Scannen und Positionieren mit einem Messvolumen von 100 x 100 x 50 mm³ (xyz) und einer Erweiterung auf bis zu 300 x 300 x 100 mm² kann das System für die Messung mittelgroßer Proben verwendet werden. Die 3D-Daten werden in MountainsMap ausgewertet und ermöglichen automatisierte Scans auf Knopfdruck und Datenauswertungen mithilfe maßgeschneiderter Auswertungsmakros.

Verwendung der Kohärenz-Scanning-Interferometrie (Weißlicht) zur Messung von Rauheit und Mikrogeometrien

Kohärenzscanning-(Weißlicht-)Interferometrie bietet eine viel höhere Auflösung als konkurrierende optische 3D-Messprinzipien wie konfokale Mikroskopie, Fokusvariation, chromatische konfokale Sensoren, Streifenprojektion oder Lasertriangulationssensoren. Als mikroskopisches optisches Messprinzip kann der GBScanner mit Interferenzobjektiven mit Vergrößerungen von 2,5x bis 115x konfiguriert werden. Bauwerke ab seitlichem Greifen von ca. 0,3 µm können aufgelöst werden. Die Obergrenze liegt bei mehreren mm² für einzelne Scans und mehreren cm² für zusammengefügte Bereiche.

Vorteile von smartWLI-Sensoren und optischen Profiler im Vergleich zu anderen Kohärenz-Scanning-Interferometern (Weißlicht)

Hochgeschwindigkeitskameras kombiniert mit massiver paralleler Datenverarbeitung ermöglichen es, die Datenerfassungs- und Auswertungsprozesse zu beschleunigen und die Systeme robuster und unempfindlicher gegenüber Vibrationen zu machen. Die Beschleunigung ermöglicht die Datenerfassung und das Zusammenfügen von mehreren 100 Einzelscans mit typischen Zykluszeiten von 1 bis 3 Sekunden pro Einzelscan. Die Datenverarbeitung einschließlich Kontrastverstärkung, modellbasierter Signalkorrektur und Datenqualitätsüberwachung ermöglicht die Erfassung schwacher Signale in stark geneigten Bereichen.