smartWLI nanoscan

smartWLI nanoscan –Sensor mit extremer Auflösung

Der smartWLI nanoscan ist mit einer blauen LED-Beleuchtung, mit höherer Tubusvergrößerung und einer 5-MP-Kamera ausgestattet. Dadurch ist der Sensor in der Lage, Strukturen mit einer lateralen Abmessung von bis zu 0,4 µm mit einer räumlichen Abtastung bis hinunter zu 0,03 µm zu messen.
Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI nanoscan als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen.
Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.

Verwendung der Kohärenz-Scanning-Interferometrie (Weißlicht) zur Messung von Rauheit und Mikrogeometrien

Kohärenzscanning-(Weißlicht-)Interferometrie bietet eine viel höhere Auflösung als konkurrierende optische 3D-Messprinzipien wie konfokale Mikroskopie, Fokusvariation, chromatische konfokale Sensoren, Streifenprojektion oder Lasertriangulationssensoren. Als mikroskopisches optisches Messprinzip kann der smartWLI nanoscan mit Interferenzobjektiven mit Vergrößerungen von 2,5x bis 115x konfiguriert werden. Strukturen ab einer Seitengröße von ca. 0,3 µm können aufgelöst werden. Die Obergrenze liegt bei mehreren mm² für einzelne Scans und mehreren cm² für zusammengefügte Bereiche.

Vorteile von smartWLI-Sensoren und optischen Profiler im Vergleich zu anderen Kohärenz-Scanning-Interferometern (Weißlicht)

Hochgeschwindigkeitskameras kombiniert mit massiver paralleler Datenverarbeitung ermöglichen es, die Datenerfassungs- und Auswertungsprozesse zu beschleunigen und die Systeme robuster und unempfindlicher gegenüber Vibrationen zu machen. Die Beschleunigung ermöglicht die Datenerfassung und das Zusammenfügen von mehreren 100 Einzelscans mit typischen Zykluszeiten von 1 bis 3 Sekunden pro Einzelscan. Die Datenverarbeitung einschließlich Kontrastverstärkung, modellbasierter Signalkorrektur und Datenqualitätsüberwachung ermöglicht die Erfassung schwacher Signale in stark geneigten Bereichen.