SpectroNet Collaboration Conference 2020

GBS präsentierte im September 2020 zur SpectroNet Collaboration Conference ein neues Verfahren zur Erreichung einer "Super Resolution"

GBS präsentierte in einem Vortrag mit dem Thema: "super resolution for coherence scanning interferometry based on advanced image processing strategies" ein neues Verfahren zur Erhöhung der Auflösung bei smartWLI-Messungen. Zusammenfassend lässt sich folgendes feststellen:

    • super resolution improve the measuring results:
      • increase the point density
      • reduce the noise
      • improve the profile fidelity
    • the systems can be used to measure structures with an height below 0.1 nm and achieve a profile fidelity down to app. 0.1 µm on structures below 1 µm
    • the processing on the GPGPU (general purpose graphic processing unit) enables the calculation of 3d with super resolution in real time

Download der vollständigen Präsentation: super resolution for coherence scanning interferometry based on advanced image processing strategies  pdf