superpolierte Spiegeloberfläche
Anforderungen an Oberflächen steigen ständig und mitunter ist die sichere Bestimmung von Rauheitskennwerten unterhalb 1 nm erforderlich, um Poliervorgänge gerade im Bereich der Halbleiter- und Optikfertigung sicherzustellen. Verbesserte Verfahren im Bereich der Sensorkalibrierung und Datenerfassung tragen dem Rechnung und minimieren das Systemrauschen ohne Verlust der lateralen Auflösung.
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superpolierte Spiegeloberfläche - smartWLI compact 115x Objektiv |
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