Laser Precision Microfabrication Symposium

GBS präsentierte im Juni 2020 zum Laser Precision Microfabrication Symposium ein neues Verfahren zur Erreichung einer "Super Resolution"

GBS präsentierte in einem Vortrag mit dem Thema: "Optical measurement of functional surface structures measured with super resolution" ein neues Verfahren zur Erhöhung der Auflösung bei smartWLI-Messungen. Zusammenfassend lässt sich folgendes feststellen:

  • Mit den Systemen können Funktionsflächen mit einer Größe unter 1 µm gemessen werden.
  • Die für die Datenauswertung verwendeten Algorithmen haben einen starken Einfluss auf die praktisch erreichte laterale Auflösung.
  • Das Prinzip der "Super Resolution" kann die Messergebnisse verbessern, selbst wenn die ursprüngliche Messpunktdichte der Kamera bereits signifikant unter der optischen Auflösung des verwendeten Objektivs liegt.
  • Strukturierte Höhe, Material und Geometrie haben einen wesentlichen Einfluss auf die laterale Auflösung, die das System erreichen kann.
  • Der Parameter DLIM ist ein geeignetes Werkzeug, um die laterale Auflösung des Systems zu überprüfen.

Download der vollständigen Präsentation:  optical measurement of functional surfaces with superresolution  pdf