Maßhaltigkeit von präzisionsgefertigten Kleinteilen
Bestimmung von geometrischen Abmessungen und kritischen Oberflächenparametern
- Bohrungsdurchmesser und Konzentrizität
- Neigungswinkel
- Höhendifferenz bei Prüfdurchmessern
- Oberflächenrauheit und -ebenheit
Messung mit 2,5-fach Michelson-Interferometer-Objektiv und Vertical-Scanning-Interferometry (VSI)
Bild: Konturanalyse auf Diagonalprofil zur Überprüfung der Maßgenauigkeit (geometrische Abmessungen, Geradheit)